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真空泵配置前級(jí)泵知識(shí)你知道么?
作者: 來源: 發(fā)布時(shí)間:2017-10-26

        羅茨真空泵不能單獨(dú)使用,必須配上前級(jí)泵組成機(jī)組,使用前級(jí)真空泵是為了降低羅茨真空泵的排出壓力,由于羅茨真空泵的壓縮比是有限的,所以選擇前級(jí)真空泵的抽速是相當(dāng)重要的。羅茨真空泵的最大壓縮比是隨排出壓力而變化的,在高排出壓力下,最大壓縮比最多大3:1,而最高壓縮比是在排出壓力為1到10mbar之間(1 mbar=0.75Torr)可達(dá)50:1,甚至更高些。因此,選擇前級(jí)泵的抽速,要根據(jù)羅茨真空泵的長(zhǎng)期工作壓力范圍考慮。

        例如有一系統(tǒng)用羅茨真空泵機(jī)組抽氣,要求在1mbar入口壓力時(shí)有600升/秒的抽速,并長(zhǎng)期工作,問應(yīng)選擇多大抽速的前級(jí)泵。

 先假定用30升/秒的前級(jí)泵時(shí),壓縮比K=600:30=20得出K=20時(shí)最大排出壓力為30 mbar。



        由此得出,當(dāng)選用30升/秒前級(jí)泵時(shí),在入口壓力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口壓力工作時(shí)就選用大一些前級(jí)泵了。該例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前級(jí)泵可以滿足上述真空系統(tǒng)的抽氣要求。



        應(yīng)考慮預(yù)抽時(shí)間的要求


      如果正常工作時(shí)間遠(yuǎn)比預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng),可選較小的前級(jí)泵;假如真空室較大,而且要求很快預(yù)抽,就要用較大的前級(jí)泵,有時(shí)為了更好發(fā)揮設(shè)備的效率,機(jī)組裝有較大的預(yù)抽泵,在正常工作后停掉它,而用較小的前級(jí)泵維持,這樣做是為了節(jié)約功率。



        應(yīng)考慮對(duì)羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求


        是選擇前級(jí)泵的必須考慮的,對(duì)極限真空度要求較高(達(dá)1X10-3Pa~1X10-2 Pa壓力)一般選用雙級(jí)旋片式油封機(jī)械泵或雙級(jí)滑閥機(jī)械泵作為前級(jí)泵。極限真空度要求在(1X10-2 Pa~1X10-1Pa)之間可選用單級(jí)油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵,極限真空度要求在133~1333Pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級(jí)泵。



       當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級(jí)泵時(shí),前級(jí)泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,否則將使壓縮比過大,造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。



         還應(yīng)考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì),是否含有可凝性氣體,是大量的還是微量的


        如果含有腐蝕性氣體,就不能選用油封機(jī)械泵,油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體,否則將會(huì)使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí),也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級(jí)泵。


       為了獲得在低入口壓力(1~100pa)時(shí)的高的抽氣速率,可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級(jí)泵組成的三級(jí)或四級(jí)機(jī)組,此時(shí)羅茨真空泵之間的抽速比一般在2~5之間。


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